CINNO Research产业资讯,显示设备厂商Abaco开始就LG显示和苹果用面板生产线所需的设备进行协商。如果###终客户苹果同意,且LG显示决定投资的话,接着就将接到设备订单。

 

Avaco的Vertical Cluster Sputter设备


据7月5日业界消息,Avaco近日开始就LG显示和可用于生产苹果苹果有机发光二极管(OLED)面板的氧化物半导体Sputter的规格进行协商。Sputter所实行的Sputtering工艺是一种真空沉积法。可以使被电离的氩气高速轰击靶材,溢离的靶材就会掉落,在玻璃基板上形成薄膜。靶材在面板上薄薄涂层,确保透明度、导电性。

 

 

Avaco正在与LG显示协商规格的氧化物半导体Sputter是低温多晶氧化物(LTPO)薄膜晶体管(TFT)方式面板所需的设备。到目前为止,苹果 OLED面板一直采用低温多晶硅(LTPS)TFT。将氧化物半导体工艺添加到现有的LTPS工艺中,即可制成LTPO TFT。LTPO是支撑120Hz屏幕刷新率的合适的规格。

 

苹果将###把LTPO应用于今年下半年推出的新产品的高端机型(Pro系列)。该苹果 OLED面板由SAMSUNG显示独供。LG显示计划投资LTPO TFT,目标是在明年应用于苹果新机型上。

 

去年8月,Avaco表示,企业开发了“装置在显示氧化物半导体制造用Sputter上,监测等离子状态后,与控制App连接进行过程控制的系统”。将之命名为“MTO In line等离子监测和气体控制系统”。另外,Avaco还开发出了氧化物检测设备“氧化物半导体IGZO Sputter断层膜电气特性检测设备(OSTECA-LIPD)。

 

虽然从企业层面已经完成了开发,但要实际交付,还需要进一步按照苹果要求改进规格的过程。如果苹果批准了Avaco的设备,并且LG显示决定转换投资LTPO TFT的话,那么企业将有望向已经投入量产的LG显示位于京畿道坡州的E6-1和E6-2线,以及明年预计量产稼动的E6-3产线供应设备。Avaco还为LG显示庆尚北道龟尾E5产线提供了用于Apple Watch的LTPO TFT Sputter。

 

 

据了解,Avaco预计今年企业总订单规模将达到3000亿韩元以上。该数据包括苹果苹果用LTPO TFT Sputter、作为新业务的叠层陶瓷电容器(MLCC)外观检查机的预计订单金额。去年底订单余额为1300亿韩元。在LTPO TFT领域,Abaco竞争对手是日本的Ulvac。

 

LG显示将把部分G6(1500x1850mm)玻璃基板投入基准月产能各为15K张的坡州E6-1和E6-2产线从LTPS转换为LTPO。LTPO在LTPS工艺中增加了氧化物TFT工艺,会造成生产良率下降,导致整个OLED面板产能减少。LG显示预计将在下半年的投资评审中决定是否投资LTPO。在采用LTPO的产线上,可以以LTPS方式生产面板,反之则不行。